TFT-LCD工業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵步驟包括列陣、彩膜、制盒、摸組等，如圖1所示。列陣制造工業(yè)廠(chǎng)房承擔著(zhù)列陣基鋼板的生產(chǎn)制造，包括玻璃基板清理、PECVD、磁控濺射、光刻技術(shù)、離子注入、分離等工藝過(guò)程；彩色濾色片是TFT-LCD的關(guān)鍵部件，其基礎結構由玻璃基板(GlassSubstrate)、灰黑色引流矩陣(BlackMatrix)、彩色層(ColorLayer)、防護層(OverCoat)和ITO導電膜等組成；盒體是列陣基鋼板和彩色濾色片經(jīng)清理、表層涂裝(PI)到原材料(PI)上，經(jīng)過(guò)干固、磨擦處理，分別在CF玻璃基板和列陣基鋼板上施膠、封框膠，然后分別在LCD上涂裝、干固、封框，最后在LCD上涂裝。

　　在TFT-LCD生產(chǎn)過(guò)程中，工業(yè)廢氣引起列陣車(chē)間涂PI液、色膜車(chē)間涂PI液、RGB涂膠、防護膜(OC)、PS膜及成盒車(chē)間涂PI液等工序，而TFT-LCD在生產(chǎn)過(guò)程中造成了涂光、脫色和工業(yè)廢氣。VOCs排放方式分為兩種，一種是有機構排放，有機廢氣在車(chē)間內根據負壓力收集系統軟件排污到平頂的工業(yè)廢氣解決系統軟件進(jìn)行點(diǎn)火處理；另一種是無(wú)組織排放，生產(chǎn)車(chē)間內沒(méi)有收集到的工業(yè)廢氣部分根據通風(fēng)冷卻裝置逃逸；還有一種是VOCs污水、廢水和固體廢棄物無(wú)組織排放的處理方式。潔凈生產(chǎn)車(chē)間VOCs異味嚴重，為確保員工的身心健康和工作效能，保證?員工學(xué)會(huì )放下對異味的擔憂(yōu)，特對各生產(chǎn)工藝流程VOCs無(wú)組織排放情況進(jìn)行監督，并采取有效對策降低車(chē)間VOCs濃度值。

　　根據我國《公共場(chǎng)所衛生監測技術(shù)規范》的規定，檢測所用儀器為英國華瑞ppbRAE3000便攜式VOCs檢測儀，該儀器具有200種不同的氣泡體，能靈活地反映所使用的檢測范圍，達到1×10-9~1×10-2，對TFT-LCD加工過(guò)程中產(chǎn)生的N-羥基甲酰胺、丙二醇甲醚冰醋酸酯(PGMEA)、乙酸丁酯、乙二醇單甲醚、N-羥基吡咯烷酮(PGMEA)等化學(xué)物質(zhì)進(jìn)行檢測。圖2列陣、色膜、制盒工藝產(chǎn)線(xiàn)VOCs檢測定位點(diǎn)遍布。

　　由于TFT-LCD工業(yè)化生產(chǎn)全過(guò)程中，揮發(fā)性有機物的關(guān)鍵成分來(lái)自光刻技術(shù)和PI液的應用產(chǎn)線(xiàn)，如列陣車(chē)間的涂膠(Track)線(xiàn)，彩膜車(chē)間的涂膠設備線(xiàn)，以及PI液成盒噴涂生產(chǎn)線(xiàn)，所以這類(lèi)產(chǎn)線(xiàn)上的檢驗點(diǎn)關(guān)鍵設置，如圖2所示。陣列車(chē)間涂膠線(xiàn)采用PGMEA光刻膠組分，根據加工工藝構造，每條線(xiàn)設4個(gè)檢驗定位點(diǎn)，分別為Robot區(A1)、涂膠區(A2)和Robot區(A3)。彩膜車(chē)間應用VCD抽壓區(A4)，光刻膠組分十分復雜，有灰黑色膠(BM)，綠紅和藍三色膠(RGB),OC,PS等加工工藝產(chǎn)線(xiàn)，其生產(chǎn)工藝結構與列陣涂膠線(xiàn)相似，每條線(xiàn)也設4個(gè)監測點(diǎn)，分別為羅布區(B1)，羅布區(B2)，羅布區(B3),VCD抽壓區(B4)。PI液成分主要為N-羥基吡咯烷酮，根據其加工工藝構造，在成盒車(chē)間內每條線(xiàn)上設置3個(gè)監測點(diǎn)，分別為Robot區(C1)、PI液噴漆區(C2)、Robot區(C3)。為了深入分析VOCs的分布和模擬模擬工作人員很可能吸收的標準，驗證定位點(diǎn)高寬比均在1.5m(吸氣帶高寬比)。