對列陣、彩膜、成盒加工工藝進(jìn)行了剖析，生產(chǎn)車(chē)間每條產(chǎn)品都生產(chǎn)。

　　分布在3個(gè)車(chē)間中的線(xiàn)VOC濃度分布情況如下：(a)列陣車(chē)間。

　　(a)Arrayworkshop。

　　在1~12月進(jìn)行的中線(xiàn)濃度測試，其結果如圖3所示。結果表明，陣列和CF車(chē)間產(chǎn)線(xiàn)4個(gè)位點(diǎn)的濃度分布情況基本一致，VCD抽壓區(A4、B4)的VOCs濃度分布最大，且呈A3>A2>A1,B4>B3>B2>B1的趨勢；通過(guò)分析生產(chǎn)流程得知，陣列車(chē)間產(chǎn)線(xiàn)Robot1向Coater1排出大量的有機廢氣，排入Coater1進(jìn)行點(diǎn)膠，然后根據Robot2排入VCD1進(jìn)行減壓干躁，這一加工過(guò)程端會(huì )產(chǎn)生大量的有機廢氣，排入VOCs解決系統軟件，這是由于門(mén)與機器機殼合合時(shí)存在間隙，造成(A4)處VOCs自由散發(fā)，因此VCD1排出區域VOCs濃度大于Coater1。類(lèi)似地，彩膜車(chē)間產(chǎn)線(xiàn)與列陣車(chē)間產(chǎn)線(xiàn)一樣，在VCD2抽壓區VOCs濃度比點(diǎn)膠區(Coater2)較大。成箱車(chē)間3個(gè)位置的VOCs濃度波動(dòng)平穩，產(chǎn)線(xiàn)VOCs分布較為均衡。

　　各加工工藝產(chǎn)線(xiàn)揮出的有機物，按照外擴散法稀釋后，送到配對生產(chǎn)車(chē)間的每個(gè)角落，為掌握各主要生產(chǎn)車(chē)間的VOCs濃度狀況，根據我國《公共場(chǎng)所衛生監測技術(shù)規范》，選擇ppbRAE3000便攜式VOC氧氣檢測儀，對列陣、成盒、彩膜3個(gè)車(chē)間的全部VOCs濃度進(jìn)行1~12月的檢測，得到各車(chē)間VOCs均值分布，如圖4所示。3個(gè)車(chē)間的VOCs均值最大，波動(dòng)范疇為(4.14~11.19)×10-6,3月份最高值為1.119×10-5；彩膜車(chē)間濃度次之，(4.56~9.70)×10-6；箱式車(chē)間濃度最低值為(1.96~7.88)×10-6。

　　在生產(chǎn)車(chē)間中，VOCs濃度受許多因素影響，如生產(chǎn)能力、膠料成分差異、機械設備密封性能差異、主要工藝參數差異等，這些因素都會(huì )導致產(chǎn)品VOCs濃度的波動(dòng)。生產(chǎn)規模越大，點(diǎn)膠用量越大，清洗車(chē)間內的VOCs濃度越高，其中，生產(chǎn)能力是關(guān)鍵影響因素。例如，三月份的生產(chǎn)能力比二月份提高了30%，圖4中的列陣、彩膜、盒式車(chē)間VOCs平均濃度分別提高了30%(2.05,1.90,1.15)×10-6。八月份成盒生產(chǎn)線(xiàn)VOC大幅下降的主要原因是八月份制造能力下降約5%。

　　列陣車(chē)間所用光刻膠成分比較單一，主要成分丙二醇單甲醚冰醋酸酯(PGMEA)占80%~90%，脲醛樹(shù)脂占5%~15%；成盒車(chē)間關(guān)鍵應用的光刻膠成分比較復雜，有黑膠、紅藍綠(RGB)三色膠、OC膠、PS膠等，促使彩膜車(chē)間臭氣更重，特對其進(jìn)行科學(xué)研究。

　　用不同光刻技術(shù)對彩色膠片車(chē)間VOCs產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行檢測，結果見(jiàn)圖5,1~12月一年期間，林卡爾綠膠片產(chǎn)線(xiàn)VOCs平均濃度總體最大，波動(dòng)范圍為(4.6~14.5)×10-6；紅膠片、藍膠片次之；黑膠片濃度總體最小，1~12月為(1.85~5.92)×10-6。

　　由表1可以看出，除含有丙二醇單甲醚冰醋酸酯、色漿、防腐劑、環(huán)氧樹(shù)脂等成分的翠綠色光刻膠中含有大量的3-乙氧基丙酸乙酯和丙二醇單甲醚等化學(xué)物質(zhì)外，其他膠體均沒(méi)有這種化學(xué)成分，因此林卡綠膠產(chǎn)線(xiàn)的VOCs平均濃度較高很可能與這兩個(gè)成分有關(guān)；同時(shí)，對比紅、藍、黑三種色光刻膠的組成發(fā)現，其基礎化學(xué)成分基本一致，只有PGMEA等成分存在差異，黑膠的PGMEA含量比其它兩種膠體少許多，僅占35%~45%，而紅膠、藍膠的含量分別為65%~73%,70%~79%，從圖5中可以看出，丙二醇單甲醚冰醋酸酯的成分在潔凈區內增長(cháng)幅度最大。