為了抓住和掌握TFT-LCD領(lǐng)域加工過(guò)程中各加工工序階段VOCs排放的特點(diǎn)，以中國某TFT-LCD生產(chǎn)企業(yè)為例，對VOCs在各生產(chǎn)車(chē)間的分布情況進(jìn)行研究。研究結果表明：列陣車(chē)間VOCs濃度均值最大，波動(dòng)范圍在4.14~11.19×10-6(1~12月)之間；彩色薄膜車(chē)間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-6(1~12月)之間；列陣和CF車(chē)間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-6(12月)之間；TFT-LCD車(chē)間VOCs濃度均值在4.6~14.50×10-12之間；列陣和CF車(chē)間VOCs濃度均值在TFT-LCD車(chē)間VOCs濃度均值揮發(fā)性有機物(VOCs)是產(chǎn)生細顆粒物(PM2.5)、活性氧(O3)等二次空氣污染物的重要前驅物質(zhì)，對大氣環(huán)境造成了霧霾和光化學(xué)污染。VOCs不僅危害自然環(huán)境，而且對人體健康也有一定的危害。在此階段，我國早已成為世界電子產(chǎn)品消費大國，同時(shí)也是世界電子產(chǎn)品生產(chǎn)制造基地。電子業(yè)TFT-LCD在整個(gè)生產(chǎn)加工過(guò)程中會(huì )使用到很多溶劑(如PGMEA、N-羥基甲酰胺、等離子等)，導致?lián)]發(fā)性有機物大量排放，這類(lèi)有機物成分非常復雜，主要成分的化學(xué)成分沒(méi)有國家職業(yè)質(zhì)量標準的限值要求和檢測方法?,VOCs受到越來(lái)越多的關(guān)注。

　　對電子器件有機廢氣VOCs排放的一般特征進(jìn)行了研究，探討了防止對策；對加工過(guò)程中電子設備的有機物排放進(jìn)行了干燥研究，結果表明，與商品生產(chǎn)流水線(xiàn)排放不同的VOCs排放與車(chē)間有機廢氣的濃度差異很大；研究了凈化車(chē)間VOC的操作計劃方案，從根本上說(shuō)明了減少VOCs排放的操作計劃方案；根據TFT-LCD生產(chǎn)企業(yè)VOCs排放研究，發(fā)現VOCs排放空氣污染物主要為丙二醇單甲醚冰醋酸酯及其少量揮發(fā)酚。目前我國對VOCs的研究大多處于宏觀(guān)經(jīng)濟階段，針對TFT-LCD加工各個(gè)工序VOCs濃度分布情況以及如何減少清潔車(chē)間VOCs排放的對策研究很少。

　　本文以一家TFT-LCD生產(chǎn)制造企業(yè)為例，研究了加工過(guò)程中各加工工藝VOCs濃度分布情況，并選擇沸石轉輪吸咐技術(shù)對清潔生產(chǎn)車(chē)間VOCs進(jìn)行收集解決，對解決前后車(chē)間VOCs濃度進(jìn)行對照分析，為事后明確提出減少VOCs的解決對策提供了相對依據。